檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "楊振雄".ccommittee (精準) and cadvisor.raw="柯正浩"
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本研究主分為兩大部分,一、設計蒸鍍腔體內之大型遮板,其目的為改善膜厚均勻性,提高薄膜生產良率;二、線性漸變濾波片的設計,在基材上方加入擋片,使膜厚有梯度變化,達到濾波效果。 在第一部分,為使腔體內膜…
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以往的凹面光柵系統只能開小角度入射至光柵表面,如果將角度變大,會有許多能量沒有覆蓋到光柵上,為了將這些能量收集起來,設計了一凹面鏡,將入射之大角度光源,經由此面鏡,匯聚起來,反射成一平行光入射至光柵…